PVD / PeCVD / Hybrid

High Performance Beschichtungssysteme

Flexible PVD Anlagen für Hartstoff- und Tribologische-Schichten

Alle unsere Systeme sind modular aufgebaut und erlauben verschiedene technologische Konfigurationen entsprechend der jeweiligen Kundenanforderung und deren zukünftigen Bedürfnissen.

MpC 1500, MpC 2000

Verfügbare technologische Konfigurationen:

  • Arc
  • Sputter
  • Hybrid Arc / Sputter
  • Hybrid PVD / PeCVD
  • Duplex DLC und Duplex PVD

Leistungsvorteile:

  • Neu: HPIES High Performance Ion etching System
  • Hohe Effizienz
  • Flexibilität
  • Geringe Unterhaltskosten
  • Einfache Handhabung
  • Schneller und einfacher Targetwechsel
  • Geringe Schichtdickenschwankungen +/-0.1um
  • Lokaler Kundendienst
  • Kundenspezifische Konfigurationen
  • Beschichtungsprozess mit bis zu vier verschiedenen Tragetmaterialien

Vielseitiges Beschichtungsportfolio:

Monolayers – Multilayers – Gradient layers – Nano layers – Nanocomposite – Duplex Beschichtungen

Maßgeschneidertes Beschichtungsportfolio für: