Defektfreie Plasmareinigung – die Basis einer glatten Schicht

PD2i’s neuer Hochleistungs-Ionen-Ätz-Prozess: HPIES – Die Präzision in der Plasmavorbehandlung

• Verbesserte Ätzrate
• Optimierte Homogenität + keine Droplets nach Ätzprozess = glattere Schichten
• Vorbehandlung kann individuell an den Werkzeugtyp angepasst werden (z.B. Wendeschneidplatten / Bohrer / Schaftfräser/ Wälzfräser / Micro Werkezeuge)
• Herausragende Schichthaftung und merklich positiver Einfluß auf die Werkzeug-Performance, Lebensdaure und Reproduzierbarkeit
• Geringere Auswirkung auf das Substrat (z.B. bessere Temperaturkontrolle)
• Beibehaltung der bereits durch Kantenpräparation vorbereiteten Schneidkanten
• Verbesserte Reinigungseigenschaften / Ätzeffekt in der Spannut

HPIES
– Sehr guter Ätzeffekt
– Keine Droplets
Vergrößerung 1200 x

STANDARD METAL-ION-ETCHING
– Schlechterer Ätzeffekt
– Droplets
Vergrößerung 1200 x