New HPIES
Defektfreie Plasmareinigung – die Basis einer glatten Schicht
PD2i’s neuer Hochleistungs-Ionen-Ätz-Prozess: HPIES – Die Präzision in der Plasmavorbehandlung
- Verbesserte Ätzrate
- Optimierte Homogenität + keine Droplets nach Ätzprozess = glattere Schichten
- Vorbehandlung kann individuell an den Werkzeugtyp angepasst werden (z.B. Wendeschneidplatten / Bohrer / Schaftfräser/ Wälzfräser / Micro Werkezeuge)
- Herausragende Schichthaftung und merklich positiver Einfluß auf die Werkzeug-Performance, Lebensdaure und Reproduzierbarkeit
- Geringere Auswirkung auf das Substrat (z.B. bessere Temperaturkontrolle)
- Beibehaltung der bereits durch Kantenpräparation vorbereiteten Schneidkanten
- Verbesserte Reinigungseigenschaften / Ätzeffekt in der Spannut

HPIES
– Sehr guter Ätzeffekt
– Keine Droplets
Vergrößerung 1200 x

STANDARD METAL-ION-ETCHING
– Schlechterer Ätzeffekt
– Droplets
Vergrößerung 1200 x